پمپ خلاء توربومولکولار | قیمت پمپ توربو UHV آزمایشگاهی Turbo Vacuum Pump
پمپ خلاء توربو یا توربومولکولار یکی از پیشرفتهترین تجهیزات ایجاد خلاء فوقالعاده بالا (UHV) در محیطهای تحقیقاتی و صنعتی است. این پمپها با استفاده از پرههای روتور با سرعت چرخش بسیار بالا (غالباً بیش از دهها هزار دور در دقیقه)، مولکولهای گاز را به صورت فیزیکی به سمت خروجی هدایت میکنند. به دلیل عدم استفاده از روغن در بخش مکش، این پمپها خلائی کاملاً تمیز و عاری از هرگونه آلودگی هیدروکربنی تولید میکنند. پمپهای توربو در سیستمهای آنالیز دقیق، میکروسکوپهای الکترونی، صنایع نیمههادی و فیزیک هستهای نقشی اساسی بر عهده دارند.
کاربردها
| عنوان | توضیح |
|---|---|
| میکروسکوپهای الکترونی (SEM/TEM) | ایجاد خلاء بسیار بالا جهت حرکت بدون مانع پرتو الکترونی در ستون میکروسکوپ. |
| صنایع نیمههادی | فرآیندهای لایهنشانی نازک، حکاکی پلاسما و ساخت تراشههای الکترونیکی در محیط بدون غبار و روغن. |
| دستگاههای طیفسنجی جرمی (MS) | تامین خلاء مورد نیاز در بخش دتکتور و آنالایزر جهت سنجش دقیق یونها. |
| شتابدهندههای ذرات | تخلیه کامل مسیر عبور ذرات پرانرژی برای جلوگیری از برخورد با مولکولهای هوا. |
ویژگیها و مشخصات
| ویژگی | مقدار |
|---|---|
| محدوده خلاء قابل دستیابی | تا محدوده ۱۰ به توان منفی ۱۰ میلیبار (Ultra High Vacuum) |
| سرعت چرخش روتور | ۲۴,۰۰۰ تا ۹۰,۰۰۰ دور در دقیقه (بسته به مدل) |
| نوع یاتاقانها | مکانیکی (گریسکاری شده) یا مغناطیسی (بدون اصطکاک) |
| نیاز به پمپ پشتیبان | بله (پمپ روتاری یا پمپ خشک برای تخلیه اولیه) |
| جنس پرهها | آلیاژ آلومینیوم فوقسبک و مستحکم |
مزایا
| عنوان | توضیح |
|---|---|
| خلاء فوقالعاده تمیز | عملکرد بدون روغن که احتمال برگشت بخارات هیدروکربنی به محفظه آزمایش را صفر میکند. |
| سرعت پمپاژ بالا | تخلیه سریع گازهای سبک مانند هیدروژن و هلیوم از محیط محفظه. |
| عملکرد بدون لرزش | در مدلهای با یاتاقان مغناطیسی، نویز و لرزش به حداقل رسیده و دقت آنالیز را بالا میبرد. |
| طول عمر و دوام بالا | به دلیل اصطکاک ناچیز قطعات داخلی در صورت استفاده و نگهداری صحیح. |
| ابعاد کامپکت و بهینه | اشغال فضای بسیار کم در مقایسه با پمپهای دیفیوژن قدیمی با کارایی مشابه. |
سوالات متداول
چرا پمپ خلاء توربو به پمپ پشتیبان (Backing Pump) نیاز دارد؟
پمپهای توربومولکولار نمیتوانند در فشار اتمسفر شروع به کار کنند؛ بنابراین یک پمپ پشتیبان باید فشار سیستم را ابتدا به حدود ۱ میلیبار برساند تا پمپ توربو فعال شود.
تفاوت پمپ توربو با یاتاقان مغناطیسی و مکانیکی چیست؟
پمپهای مغناطیسی به جای بلبرینگهای فلزی از میدان مغناطیسی برای معلق نگهداشتن روتور استفاده میکنند که نیاز به روانکاری ندارد و لرزش آن تقریباً صفر است.
برخورد ناگهانی هوا با پمپ توربو در حال کار چه عواقبی دارد؟
ورود ناگهانی هوا به دلیل سرعت چرخش بسیار بالا میتواند نیروی پسا شدیدی ایجاد کند و منجر به شکستن پرهها و نابودی کامل پمپ شود.
نقد و بررسیها
هنوز بررسیای ثبت نشده است.